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常見問題

為什么要在超純水中添加氣體?

發(fā)布時間: 2019-08-07
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     功能水是近年正在迅猛發(fā)展的新技術(shù),即在超純水中溶入少許藥劑或氣體而使其洗凈效果大為提高的水,例如在超純水中溶入適量的氫氣和臭氧。

                                            

      一、氫氣
      在超純水中加入適量氫氣,使其電阻率控制在14MΩ/cm,這種水用于硅材料的切、磨可避免靜電問題。
      二、臭氧
      為了確保超純水供水管網(wǎng)末梢在使用過程中細菌和TOC指標不超過相關要求,可在超純水供水管網(wǎng)中添加臭氧來控制細菌和TOC指標。同時超純水中少量的臭氧可以提高水的洗凈效果。
      需要注意的是,由于臭氧在超純水中分解速度較慢,半衰期為20~50分鐘。回水中殘存的臭氧如果進入超純水系統(tǒng)會對樹脂起氧化破壞作用,使樹脂發(fā)生交聯(lián)結(jié)構(gòu)降解、體積膨脹、交換容量降低、顆粒破裂等現(xiàn)象,因此應當采用254nm的紫外線以催化分解的方式將回水中殘存的臭氧去除掉,一般消除1mg/L臭氧殘留所需的紫外線照射量為90000μw.s/cm2

 
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